AOE活性氧净化装置,适用于VOC废气净化。主要技术内容采用脉冲放电或无声放电等产生的非平衡等离子体作为废气净化技术。基本原理是通过前沿陡峭、脉宽窄(纳秒级)的高压脉冲电晕放电,在常温常压下获得非平衡等离子体,即产生大量活性粒子(称其为"活性氧"),对有机物分子进行氧化降解反应,使污染物最终转化为无
废气净化设备利用高频高压静电的特殊脉冲放电方式（发射装置每秒钟发射上千亿个高能离子），产生高密度的高能活性氧（介于氧分子和臭氧之间的一种过渡态氧），迅速与污染物分子碰撞，激活有机分子，并直接将其破坏；或者高能活性氧激活空气中的氧分子产生二次活性氧，与有机分子发生一系列链式反应，并利用自身反应产生的能量维系氧化反应，进一步氧化有机物质，生成二氧化碳和水以及其它小分子，而且可以在极短的时间内达到很高的处理效率。
由于上述过程是在常温下进行的，因此也称为“低温燃烧”过程，包括了许多种技术和作用，如过氧化氢、·OOH的催化作用和紫外线作用，这是一个极端复杂的物理过程，产生O2、O2-、O2+、·OH、·H02、·O、O等氧簇聚集体，由于具有极强的氧化能力，因此我们称其为“活性氧”。
根据实验结果，并结合国外采用氧化法处理恶臭的资料，基本确定AOE设备处理各种恶臭组分的机理和主要产物。恶臭污染物中主要含有的气相污染物有H2S、NH3、CH3SH、VOCs（挥发性有机化合物）等。活性氧去除上述污染物的主要途径有两条：一是在高能电子的瞬时高能量作用下，打开某些有害气体分子的化学键，使其直接分解成单质原子或无害分子；二是在大量高能电子、离子、激发态粒子和氧自由基、氢氧自由基（自由基因带有不成对电子而具有很强的活性）等作用下的氧化分解成无害产物。
其反应机理为：
H2S + O2、O2-、O2+ → SO3 + H2O
NH3 + O2、O2-、O2+ → NOx + H2O
VOCs + O2、O2-、O2+ → SO3 +CO2+ H2O
